导电材料电阻率的测试方法:
1.使用四探针法:四探针法用在非常薄的样品,例如晶圆片和导电涂层上。下图是四点铜线探针用于电阻率测量的配置图。电流从两个外部的探针加入,而电压降则在两个内部的探针之间测量。表面电阻率的计算公式为:σ=(π/In2)(V/I) 其中: σ=表面电阻率,V=电压表测得的电压,I=电流源电流。
2.整块材料的电阻率:将电流源连到样品的两端,电压表的引线则按已知的距离放置,根据样品的横截面积和电压表引线之间的距离计算出电阻率:ρ= (V/I)(A/L) 其中:ρ=以厘米-欧姆为单位的电阻率;V=电压表测量的电压;I=电流源电流;A=以厘米2为单位的样品的横截面积(w × t) ;L=以厘米为单位的电压表引线之间的距离。